ಉತ್ಪನ್ನಗಳು

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇ

ಸೆಮಿಕ್ಸ್‌ಲ್ಯಾಬ್ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ SiC ಕೋಟೆಡ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇ ಎಂಬುದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಘಟಕವಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್‌ನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ದಟ್ಟವಾದ CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಉನ್ನತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧದೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ. SiC ಮತ್ತು Si ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ಗಳು, MOCVD ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು, ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಗಳು, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ, ಅನೆಲಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಕ್ಷಿಪ್ರ ಉಷ್ಣ ಸಂಸ್ಕರಣೆ (RTP) ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇದನ್ನು ಮುಂದುವರಿದ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ನಮ್ಮನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಲು ಮುಕ್ತವಾಗಿರಿ.

ವಿಚಾರಣೆಯ

ವಿವರಣೆ

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇಗಾಗಿ ಸೆಮಿಕ್ಸ್‌ಲ್ಯಾಬ್ ವಿಶೇಷ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು

ಸೆಮಿಕ್ಸ್‌ಲ್ಯಾಬ್ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿಯಲ್ಲಿ, ನಮ್ಮ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇಗಳನ್ನು ಅತ್ಯಂತ ಬೇಡಿಕೆಯ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪರಿಸರಗಳಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ - ಅಲ್ಲಿ ತೀವ್ರ ತಾಪಮಾನಗಳು, ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಅತಿ-ಶುದ್ಧ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳು ಒಮ್ಮುಖವಾಗುತ್ತವೆ. ಈ ಟ್ರೇಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್‌ನ ಉಷ್ಣ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಅಸಾಧಾರಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ದಟ್ಟವಾದ CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಮೇಲ್ಮೈ ಸಮಗ್ರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತವೆ. ಫಲಿತಾಂಶವು ದೃಢವಾದ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಂಶವಾಗಿದ್ದು, ಇದು ವಿವಿಧ ಮುಂಭಾಗದ ವೇಫರ್ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಏಕರೂಪತೆ, ಇಳುವರಿ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣದ ಅಪ್‌ಟೈಮ್ ಅನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ.

ಸಿಲಿಕಾನ್ (Si) ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಸೇರಿದಂತೆ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ, SiC ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇ ನಿಖರವಾದ ವೇಫರ್ ವಾಹಕ ಅಥವಾ ಸಸೆಪ್ಟರ್ ಬೇಸ್ ಆಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಇದು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಏಕರೂಪದ ತಾಪಮಾನ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವಾಗ ಸ್ಥಿರವಾದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪ ನಿಯಂತ್ರಣ, ಡೋಪಂಟ್ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. SiC ಲೇಪನವು ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡ ತಡೆಗೋಡೆಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ತಲಾಧಾರವನ್ನು H₂, HCl ಮತ್ತು SiHCl₃ ನಂತಹ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸುತ್ತದೆ, ಇಂಗಾಲದ ಮಾಲಿನ್ಯ ಅಥವಾ ಅನಿಲ-ಹಂತದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ. ಇದರ ಕನ್ನಡಿ-ನಯವಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಕಣ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು 1650 °C ವರೆಗಿನ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಅವನತಿ ಇಲ್ಲದೆ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.

SiC ಕೋಟೆಡ್ ಸೆಟ್ ಡಿಸ್ಕ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು

GaN, GaAs ಮತ್ತು InP ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಬಳಸುವ MOCVD ಮತ್ತು ಸಂಯುಕ್ತ ಅರೆವಾಹಕ ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ - ಟ್ರೇ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ವೇಫರ್ ವಾಹಕವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಮತ್ತು ಅಮೋನಿಯಾ-ಆಧಾರಿತ ರಸಾಯನಶಾಸ್ತ್ರಗಳಿಗೆ ಪದೇ ಪದೇ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುವುದನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬೇಕು. SiC ಲೇಪನದ ಉನ್ನತ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಸವೆತ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟಾಗುವಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ, ಸ್ಥಿರವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ವಿಸ್ತೃತ ಘಟಕ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಸ್ಥಿರತೆಯು ನೇರವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ಊಹಿಸಬಹುದಾದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳು ಮತ್ತು LED, ವಿದ್ಯುತ್ ಮತ್ತು RF ಸಾಧನ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಆಗಿ ಅನುವಾದಿಸುತ್ತದೆ.

SiC ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇ ಪ್ರಸರಣ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ, ಅನೀಲಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಕ್ಷಿಪ್ರ ಉಷ್ಣ ಸಂಸ್ಕರಣೆ (RTP) ಪರಿಸರಗಳಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ, ಟ್ರೇ ವೇಫರ್ ಜೋಡಣೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣವನ್ನು ಪ್ರತಿರೋಧಿಸುವ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಬೆಂಬಲ ವೇದಿಕೆಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು ತ್ವರಿತ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಶಾಖ ವರ್ಗಾವಣೆಗೆ ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ಗಳ ಮೇಲೆ ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. SiC ತಡೆಗೋಡೆ ಅನಿಲ ಸೋರಿಕೆ ಮತ್ತು ಲೋಹದ ಮಾಲಿನ್ಯದ ವಿರುದ್ಧ ಮತ್ತಷ್ಟು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ - ಮುಂದುವರಿದ ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಇಳುವರಿ ನಷ್ಟಕ್ಕೆ ಎರಡು ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಕಾರಣಗಳು.

ಈ ಎಲ್ಲಾ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ, ಸೆಮಿಕ್ಸ್‌ಲ್ಯಾಬ್ SiC ಕೋಟೆಡ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇ ಕೇವಲ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಫಿಕ್ಚರ್ ಆಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸದೆ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಉತ್ಪಾದನಾ ಹಂತದ ಉಷ್ಣ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛತೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸುವ ನಿಖರ-ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಆಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಸುಧಾರಿತ CVD ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ವಸ್ತು ಆಯ್ಕೆ ಮತ್ತು ಬಿಗಿಯಾದ ಜ್ಯಾಮಿತೀಯ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಸೆಮಿಕ್ಸ್‌ಲ್ಯಾಬ್ ಆಧುನಿಕ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛತೆಯ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಟ್ರೇ ಅನ್ನು ಬಹು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಚಕ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಪುನರುತ್ಪಾದಿಸಬಹುದಾದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಧನ ಇಳುವರಿ, ಕಡಿಮೆ ದೋಷ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ವಿಸ್ತೃತ ಉಪಕರಣಗಳ ಅಪ್‌ಟೈಮ್ ಅನ್ನು ಅನುಸರಿಸುವ ಜಾಗತಿಕ ತಯಾರಕರಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.