Ⅰ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಅನ್ವಯಿಕ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು ಯಾವುವು?

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಸೆರಾಮಿಕ್‌ಗಳನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿನ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉಪಕರಣಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಅವುಗಳ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ. ವಿಶಿಷ್ಟ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯಿಕ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿವೆ:

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ದೋಣಿ

ಕಾರ್ಯ:

SiC ದೋಣಿಯನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾನೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು (ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಂತಹವು) ಸಾಗಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು:

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಕ್ಷೇತ್ರ: ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಗಳು ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆಗಳಲ್ಲಿ, ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡದಿಂದಾಗಿ ವೇಫರ್‌ನ ವಿರೂಪ ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ದೋಣಿಯು 1000°C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಕಾಲ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.

ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಉದ್ಯಮ: PECVD (ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ, ದೋಣಿಯನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ವಿರೋಧಿ ಪ್ರತಿಫಲನ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಬಾಂಬ್ ದಾಳಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಫರ್ನೇಸ್ ಟ್ಯೂಬ್ (SiC ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಟ್ಯೂಬ್)

ಕಾರ್ಯ: ಅಧಿಕ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಕೊಠಡಿಯ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿ, ಇದು ಏಕರೂಪದ ತಾಪಮಾನ ಕ್ಷೇತ್ರ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು:

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ: ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಅಥವಾ ಸವೆತದಿಂದಾಗಿ ಕಲ್ಮಶಗಳ ಬಿಡುಗಡೆಯನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯು ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ನೀರಿನ ಆವಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಕಾಲ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರಬೇಕು.

ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಉದ್ಯಮ: ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ, ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯನ್ನು ರಂಜಕ ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ PERC ಕೋಶಗಳ ತಯಾರಿಕೆ), ಮತ್ತು POCl₃ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಆಮ್ಲೀಯ ಅನಿಲ ಸವೆತವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸುವುದು ಅವಶ್ಯಕ.

ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ಮತ್ತು ಬೋಟ್ ಹೋಲ್ಡರ್

ಕಾರ್ಯ: ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ಅನ್ನು ಸ್ಫಟಿಕ ದೋಣಿಯನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ವರ್ಗಾಯಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ದೋಣಿಯ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಸರಿಪಡಿಸಲು ದೋಣಿ ಹೋಲ್ಡರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು:

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಉಷ್ಣ ಆಯಾಸದಿಂದಾಗಿ ಮುರಿತವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ವೇಗವಾಗಿ ಎತ್ತುವ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ; ವೇಫರ್ ವಿಚಲನವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ದೋಣಿ ಹೋಲ್ಡರ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಜ್ಯಾಮಿತೀಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.

Ⅱ. ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವಸ್ತುಗಳ ಅನ್ವಯ ನಿರ್ದೇಶನಗಳು ಯಾವುವು?

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು ಎರಡು ರೀತಿಯ ಉಪಕರಣಗಳ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಲಿಂಕ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತವಾಗಿವೆ:

ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸೂಚಕಗಳು	ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತು	ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವಸ್ತು
ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ	ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಸುಲಭ (>500°C ಗೆ ಲೇಪನ ರಕ್ಷಣೆ ಅಗತ್ಯವಿದೆ)	ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ವಿರೋಧಿ (1600°C ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು)
ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವ	ಆಮ್ಲೀಯ ಅನಿಲಗಳಿಂದ (Cl₂, POCl₃ ನಂತಹ) ತುಕ್ಕು ಹಿಡಿಯುವುದು ಸುಲಭ.	ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ (HF, HNO₃ ನಂತಹ ಬಲವಾದ ನಾಶಕಾರಿ ಮಾಧ್ಯಮವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ)
ಕಣ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯ	ಧೂಳಿನ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುವುದು ಸುಲಭ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವೇಫರ್ ದೋಷಗಳು ಉಂಟಾಗುತ್ತವೆ.	ದಟ್ಟವಾದ ಮೇಲ್ಮೈ, ಕಣ ಚೆಲ್ಲುವ ಅಪಾಯವಿಲ್ಲ
ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ	ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ (ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ) ವಿರೂಪಗೊಳ್ಳುವುದು ಸುಲಭ.	ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ (ಮೊಹ್ಸ್ ಗಡಸುತನ 9.2), ಬಲವಾದ ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ನಿರೋಧಕತೆ
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ	ಅನಿಸೊಟ್ರೋಪಿ, ಸ್ಥಳೀಯ ಅಧಿಕ ತಾಪದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಪಾಯ	ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (120 W/m`K), ಏಕರೂಪದ ತಾಪಮಾನ ಕ್ಷೇತ್ರ

ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಉದ್ಯಮ

PECVD ಕುಲುಮೆ: ಪ್ರತಿಫಲನ-ವಿರೋಧಿ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು (ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್‌ನಂತಹವು) ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಭಾಗಗಳು 400~500°C ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್‌ನಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಅಯಾನು ಬಾಂಬ್‌ಬಾರ್ಡ್‌ಮೆಂಟ್ ಅನ್ನು ವಿರೋಧಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಫಿಲ್ಮ್ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆ: PN ಜಂಕ್ಷನ್‌ಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ರಂಜಕ/ಬೋರಾನ್ ಪ್ರಸರಣಕ್ಕೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಗಳು 800~1000°C ನಲ್ಲಿ POCl₃ ಅಥವಾ BBr₃ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಸವೆತವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬೇಕು ಮತ್ತು ಡೋಪಿಂಗ್ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬೇಕು.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮ

ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆ:

ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆ: ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆಯ ನಂತರ ಅನೆಲಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸ್ಫಟಿಕ ದೋಣಿಗಳು ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು (Fe, Ni ನಂತಹ) ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡುವುದನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಬೇಕು, ಇಲ್ಲದಿದ್ದರೆ ಅದು ವೇಫರ್ ಸೋರಿಕೆ ಪ್ರವಾಹವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.

ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆ: ಒಣ ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ಆರ್ದ್ರ ಆಮ್ಲಜನಕ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಸಿ. ಅಸಮ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರದ ದಪ್ಪವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಗಳು 1200 ° C ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಆಮ್ಲಜನಕದ ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.

Ⅲ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್‌ಗಿಂತ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವಸ್ತುಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳು ಯಾವುವು?

ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳು ಕಡಿಮೆ ವೆಚ್ಚ ಮತ್ತು ಸುಲಭ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದರೂ, ಅವು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಮುಖ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ಗಿಂತ ಬಹಳ ಕೆಳಮಟ್ಟದ್ದಾಗಿವೆ:

ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಕರಣ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ:

ವೆಟೆಕ್ಸೆಮಿಕಾನ್‌ನ ನಿಜವಾದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅಂಕಿಅಂಶಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಫರ್ನೇಸ್‌ನಲ್ಲಿ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿಯನ್ನು ಪ್ರತಿ 3 ತಿಂಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ ಬದಲಾಯಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ದೋಣಿ 2 ವರ್ಷಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಕಾಲ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಇಳುವರಿಯು 5%~10% ರಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ.

ಸೆಮಿಕ್ಸ್‌ಲ್ಯಾಬ್ ಒದಗಿಸಿದ ಉತ್ಪಾದನಾ ದತ್ತಾಂಶದ ಪ್ರಕಾರ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಕಣ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅನುಪಸ್ಥಿತಿಯಿಂದಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ಬ್ಯಾಟರಿ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು 2%~5% ರಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.

Ⅳ. ಸೆಮಿಕ್ಸ್‌ಲ್ಯಾಬ್ ಅನ್ನು ಏಕೆ ಆರಿಸಬೇಕು?

ಸೆಮಿಕ್ಸ್‌ಲ್ಯಾಬ್ ಚೀನಾದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ತಯಾರಕ ಮತ್ತು ಪೂರೈಕೆದಾರರಾಗಿದ್ದು, 20 ವರ್ಷಗಳಿಂದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಮತ್ತು SiC ಮೇಲ್ಮೈ ಲೇಪನಗಳ ಸಂಶೋಧನೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸಿದೆ. ವರ್ಷಗಳ ತಾಂತ್ರಿಕ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯ ನಂತರ, ನಮ್ಮ SiC ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು 99.98% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ನಿಮ್ಮ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ನಾವು ವಿಭಿನ್ನ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಬೆಲೆಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳೊಂದಿಗೆ ನೇರ ಸಂಪರ್ಕದಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಉತ್ಪನ್ನ ನಿಮಗೆ ಅಗತ್ಯವಿದ್ದರೆ, ನಿಮ್ಮ ವಿವಿಧ ಕಠಿಣ ತಾಂತ್ರಿಕ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ನಾವು ತಲಾಧಾರದ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ CVD SiC ಲೇಪನ, CVD TaC ಲೇಪನ ಮತ್ತು ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು.