ಪ್ರಕರಣದ ಅಧ್ಯಯನ

• 

  ಸೆಮಿಕ್ಸ್‌ಲ್ಯಾಬ್ ಸಿವಿಡಿ ಸಿಐಸಿ ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕರಣ ಅಧ್ಯಯನ

  2026-08-24

  GaN ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ಲಿ, SiC-ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್‌ನ ಮೇಲಿನ AlN ಶೇಷವು ಅನಿಲ-ಹರಿವಿನ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಇಳುವರಿಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಮೆಮೊರಿ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. ವೃತ್ತಿಪರ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ಶೇಷವನ್ನು ಹೇಗೆ ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ, ಲೋಹದ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಲೇಪನಕ್ಕೆ ಹಾನಿಯಾಗದಂತೆ ಭಾಗದ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಹೇಗೆ ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ ಎಂಬುದನ್ನು ಈ ಲೇಖನವು ವಿವರಿಸುತ್ತದೆ.

  ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು